近日，半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備供應(yīng)商Semilab正式發(fā)布了全新的LumiPix-3000光致發(fā)光（PL）檢測(cè)設(shè)備。
圖片來(lái)源：Semilab
據(jù)Semilab介紹，該設(shè)備專(zhuān)為Micro LED器件設(shè)計(jì)，具備全晶圓成像能力，通過(guò)高精度的缺陷分析技術(shù)，解決Micro LED制造過(guò)程中面臨的亮度和波長(zhǎng)一致性挑戰(zhàn)。LumiPix-3000采用了先進(jìn)的光致發(fā)光技術(shù)，配備多種激發(fā)光源選項(xiàng)及高分辨率成像模塊，能夠?qū)A進(jìn)行非破壞性的全面計(jì)量分析。
該設(shè)備具有廣泛的材料兼容性，支持InGaN和AlInGaP等常見(jiàn)的Micro LED材料體系，并可處理最大尺寸達(dá)12英寸的晶圓。
在具體性能方面，LumiPix-3000通過(guò)分析捕獲的PL圖像及相關(guān)數(shù)據(jù)，能夠精準(zhǔn)識(shí)別包括強(qiáng)度變化、波長(zhǎng)偏移以及形態(tài)異常在內(nèi)的多種缺陷。這種基于圖像的非接觸式檢測(cè)方法，不僅避免了對(duì)微小LED芯片造成物理?yè)p傷，還能滿足現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)線對(duì)高吞吐量和高精度的標(biāo)準(zhǔn)要求。該設(shè)備為制造商在早期工藝階段發(fā)現(xiàn)并剔除不良品提供了有效的技術(shù)手段，有助于降低后續(xù)制程成本。
資料顯示，Semilab總部位于匈牙利布達(dá)佩斯，公司一直致力于光學(xué)、電學(xué)及材料特性測(cè)量技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用。Semilab的產(chǎn)品線涵蓋了從光伏、半導(dǎo)體到平板顯示等多個(gè)高科技領(lǐng)域，擁有包括橢圓偏振光譜、壽命測(cè)試、方塊電阻測(cè)量等在內(nèi)的多項(xiàng)核心專(zhuān)利技術(shù)。
在Micro LED領(lǐng)域，Semilab近年來(lái)動(dòng)作頻頻，持續(xù)強(qiáng)化其在新型顯示檢測(cè)市場(chǎng)的布局。鑒于Micro LED技術(shù)對(duì)芯片微縮化和巨量轉(zhuǎn)移工藝的嚴(yán)苛要求，良率管理成為行業(yè)痛點(diǎn)。
除了此次發(fā)布的PL檢測(cè)設(shè)備外，Semilab還開(kāi)發(fā)了一系列針對(duì)Micro LED制程的綜合解決方案。例如，Semilab的光譜橢偏儀（SE）被廣泛用于測(cè)量外延層的厚度與光學(xué)常數(shù)，而非接觸式方塊電阻測(cè)量?jī)x則用于監(jiān)控透明導(dǎo)電膜及金屬電極的工藝質(zhì)量。
Semilab表示，公司未來(lái)將持續(xù)關(guān)注Micro LED顯示技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)，旨在通過(guò)多維度的檢測(cè)工具組合，協(xié)助客戶在Micro LED的外延生長(zhǎng)、芯片制備及面板鍵合等關(guān)鍵環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)更為嚴(yán)格的質(zhì)量控制，從而推動(dòng)Micro LED顯示技術(shù)的規(guī)�；慨a(chǎn)進(jìn)程。（LEDinside整理） |
